Bomba amb elevació magnètica, CXF-200 / 1401E, refrigeració per aigua, a bord

Descripció breu:

El coixinet electromagnètic també s'anomena "óssos levitats magnètics actius", que consisteix en un coixinet magnètic, un sensor i un sistema de control. Aquest disseny té una resposta dinàmica i un ajust oportú, un eix d’alta velocitat i un funcionament fiable.


Detall del producte

Etiquetes de producte

Les bombes moleculars levitades magnèticament són les bombes de les quals es suporta l'eix mitjançant la força magnètica.
Les bombes moleculars de levitació magnètica de la sèrie són equips de generació de buit desenvolupats per KYKY per satisfer els requisits d’aplicació en camps de fabricació moderna de semiconductors, fabricació de xips, revestiment industrial i instruments científics.

Tecnologies:

  • Tecnologia de control per a coixinets magnètics: L’electromagnètic adoptat és un levit magnètic de 5 eixos. Aquest disseny pot tenir una resposta dinàmica i un ajustament oportú mitjançant una tecnologia de control de suspensió magnètica de circuit tancat dinàmic actiu basada en una avançada teoria de control internacional, de manera que es garanteixin avantatges tan importants de l’eix d’alta velocitat com un funcionament estable i levitat i fiable.
  • Tecnologia de control de la unitat de motor: El motor de corrent continu d’alta eficiència i el sistema de control de servo s’apliquen a les bombes de levitació magnètica de la sèrie, de manera que tinguin la màxima energia del motor i compensin automàticament la velocitat de rotació de l’eix. funció de l’energia dinàmica.
  • Tecnologia del rotor compost de fibra de carboni: Els turbo-rotors de les bombes moleculars de suspensió magnètica en sèrie es fabriquen mitjançant la composició d'aliatges d'alumini d'alta resistència i fibra de carboni lleugera. En comparació amb tots els rotors d'aliatge d'alumini, els rotors turbo es caracteritzen per una gran reducció de pes i una gran millora de la resistència, de manera que s'aconsegueixen objectius d'alta velocitat de rotació, alt rendiment i alta fiabilitat.
  • Tecnologia resistent a la corrosió: Les superfícies de peces en cambres de bombes moleculars de suspensió magnètica en sèrie es tracten amb un procés especial, de manera que les superfícies poden resistir durant molt de temps la corrosió causada per gasos corrosius en processos de fabricació de semiconductors. A més, gasos inerts com N2 s’omplen completament en l’eix de les bombes per protegir les parts de baix buit de les bombes, de manera que es realitza la funció d’esgotar de manera estable gasos corrosius durant llargs períodes.
  • Sistema de control de temperatura de calefacció: Les bombes moleculars de levitació magnètica de la sèrie estan equipades amb un escalfador elèctric i un controlador de temperatura, de manera que l’aigua de refrigeració, l’escalfament aire-os, la calefacció elèctrica i la calor transportada pels gasos protectors es poden controlar i controlar durant el funcionament, la temperatura de les bombes es pot mantenir a un cert valor a llarg termini, algunes substàncies gasoses no es converteixen en substàncies sòlides a temperatura normal i no es dipositen a les bombes i es poden complir els requisits per a un procés especial com el gravat.

Els avantatges:

1. Fricció zero durant el funcionament i baix consum d'energia

2. Fàcil d'adquirir un buit alt i ultra alt molt net sense lubricació per a les bombes

3. Capaç d’extreure gasos corrosius a llarg termini

4. Alta seguretat i llarga vida útil gràcies a la protecció dels coixinets amb boles de ceràmica de precisió

5. funció de generació d'energia en cas d'apagada sobtada

Especificacions:

Model CXF-200 / 1401E
Velocitat de la bomba (l / s, aire) 1400
Ratio de compressió > 1 × 107
Últim buit (Pa) ≤2 × 10-6
Brida d’entrada DN200 ISO F.
DN200 ISO CF
Brida de sortida KF 40
Velocitat de rotació (rpm) 33000
Temps d'execució (min) 6
VIB (mm) <0,05
Bomba de suport (L / s) 15
Muntatge o instal·lació Cap
Mètode de refrigeració Aigua
Pes (kg) (amb controlador) 51

Aplicacions:

Les bombes moleculars de levitació magnètica de la sèrie s’apliquen principalment a camps de fabricació de semiconductors, fabricació de clips, revestiment industrial i instruments científics, especialment a l’extracció de gasos corrosius existents a la implantació de ions, CVD, PVD i ions i gasos fàcilment coagulables a temperatura normal.


  • Anterior:
  • Pròxim:

  • Escriviu aquí el vostre missatge i envieu-nos-el

    Categories de productes