Bomba amb elevació magnètica, CXF-320 / 3001E, refrigeració per aigua, ISO-F, a bord

Descripció breu:

El coixinet electromagnètic també s'anomena "óssos levitats magnètics actius", que consisteix en un coixinet magnètic, un sensor i un sistema de control. Aquest disseny té una resposta dinàmica i un ajust oportú, un eix d’alta velocitat i un funcionament fiable.


Detall del producte

Etiquetes de producte

Les bombes moleculars levitades magnèticament són les bombes de les quals es suporta l'eix mitjançant la força magnètica.
Les bombes moleculars de levitació magnètica de la sèrie són equips de generació de buit desenvolupats per KYKY per satisfer els requisits d’aplicació en camps de fabricació moderna de semiconductors, fabricació de xips, revestiment industrial i instruments científics.

Avantatges:

1. Fricció zero durant el funcionament i baix consum d'energia
2. Fàcil d'adquirir un buit alt i ultra alt molt net, sense lubricació per a les bombes
3. Capaç d’extreure gasos corrosius a llarg termini
4. Alta seguretat i llarga vida útil gràcies a la protecció dels coixinets amb boles de ceràmica de precisió
5. funció de generació d'energia en cas d'apagada sobtada
6. Lliure de fricció
7. Lliure de contaminació
8. Lliure de manteniment
9. Vibració baixa
10. instal·lat en qualsevol orientació.

Aplicacions:

Les bombes moleculars de levitació magnètica de la sèrie s’apliquen principalment a camps de fabricació de semiconductors, fabricació de clips, revestiment industrial i instruments científics, especialment a l’extracció de gasos corrosius existents a la implantació de ions, CVD, PVD i ions i gasos fàcilment coagulables a temperatura normal.

Especificacions:

Model CXF-320 / 3001E
Velocitat de la bomba (l / s, aire) 3200
Ratio de compressió > 1 × 108
Últim buit (Pa) ≤5 × 10-7
Brida d’entrada ISO-F 320
Brida de sortida KF 40
Velocitat de rotació (rpm) 24000
Temps d'execució (min) 12
VIB (mm) <0,05
Bomba de suport (L / s) 15
Muntatge o instal·lació Cap
Mètode de refrigeració Aigua
Pes (kg) (amb controlador) 75

Tecnologies:

  • Tecnologia de control per a coixinets magnètics: un levitat magnètic de 5 eixos, basat en una avançada teoria de control internacional, per garantir avantatges tan significatius de l'eix d'alta velocitat com un funcionament estable i fiable de levitació.
  • Tecnologia de control de la unitat de motor: Motor de corrent continu d’alta eficiència i sistema de control de servo, amb la màxima energia del motor i per compensar automàticament la velocitat de rotació de l’eix, realitzant així un arrencada estable, un funcionament fiable i una funció de regulació automàtica de l’energia dinàmica.
  • Tecnologia del rotor compost de fibra de carboni: Fabricat mitjançant la composició d'aliatges d'alumini d'alta resistència i fibra de carboni lleugera. es caracteritza per una gran reducció de pes i una gran millora de la resistència, de manera que s’aconsegueixen objectius d’alta velocitat de rotació, alt rendiment i alta fiabilitat.
  • Tecnologia resistent a la corrosió: Les superfícies de les peces de les cambres es tracten amb un procés especial, de manera que les superfícies poden resistir la corrosió causada per gasos corrosius en els processos de fabricació de semiconductors durant molt de temps. A més, gasos inerts com el N2 s’omplen completament en l’eix de les bombes per protegir les parts de baix buit de les bombes, de manera que es realitza la funció d’esgotar de manera estable gasos corrosius durant llargs períodes.
  • Sistema de control de temperatura de calefacció: equipat amb un escalfador elèctric i un controlador de temperatura, es pot controlar i controlar l’aigua de refrigeració, l’escalfament aire-os, la calefacció elèctrica i la calor que transporten els gasos protectors durant el funcionament, la temperatura de les bombes es pot mantenir a algun valor a llarg termini, alguns gasosos les substàncies no es converteixen en substàncies sòlides a temperatura normal i no es dipositen a les bombes i es poden complir els requisits per a processos especials, com ara el gravat.

  • Anterior:
  • Pròxim:

  • Escriviu aquí el vostre missatge i envieu-nos-el

    Categories de productes