Avantatges:
Aquesta sèrie de bombes té un bon rendiment en condicions ambientals dures (alta temperatura, pols, etc.), un rendiment estable i una llarga vida útil, així com un manteniment senzill i un funcionament convenient.
Aplicacions:
Les principals aplicacions són la detecció de fuites industrials, PVD, CVD, implantació d’ions, fabricació de components electrònics al buit, vidre de baixa E, vidre ITO, recobriment òptic, cèl·lules solars, soldadura de feixos d’electrons, forn de buit i altres indústries
Especificacions:
Brida (A) | DN400 ISO-K | Gas al llarg de (sccm) | N200 5500 |
Brida (Fora) KF | DN100 | Ell : 4000 | |
Velocitat de bombament (L / s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
Ell : 2650 | Ar : 2100 | ||
H280 1280 | Velocitat de rotació (rpm) | 13500 | |
Ar : 3200 | Temps d’execució (min) | ≤18 | |
Ratio de compressió | N2: 108 | Tipus de refrigeració, estàndard | Aigua |
Ell : 103 | Consum d'aigua de refrigeració (L / min) | ≥1 | |
H2: 102 | Temperatura de l'aigua de refrigeració (℃) | ≤25 | |
Ar : 108 | Connexió d'alimentació: Voltatge (V CA) | DC24 / AC220 | |
Pressió final (Pa) | 6 × 10-6 | Consum d’energia màxima (W) | ≤1100 |
Màx. Pressió de buit frontal continu (Pa) | 100 | Model de controlador | FD-III |
Màx. Pressió de buit frontal | N2: 300 | Pes (kg) | 130 |